一、 核心定位与含义解析
二、 在半导体制造工艺中的应用
这种高等级天平在半导体工厂中主要用于对精度和可靠性要求极的高的环节：
化学溶液配制
CMP工艺
薄膜沉积（CVD/ALD）
三、 GX-L系列的主要特点与技术优势（为何适合半导体行业）
内置校准砝码 - 核心优势
确保测量溯源性与准确性： 内置砝码通常可追溯至国际质量标准（如NMIJ），确保校准的权的威性和准确性。
极的高的便利性与效率： 无需人工寻找、拿取外部砝码，避免了砝码污染、损坏和丢失的风险。可以一键校准，或设定定时自动校准（如每4小时一次），确保天平始终处于最佳状态。
维持洁净室环境： 避免了外部砝码带入污染物，是维持洁净室等级的关键设计。
高防护等级
高精度与稳定性
符合法规与质量控制要求
用户友好设计
四、 与之前器件的关联对比
我们可以将这三个日本仪器在半导体制造中的作用联系起来看：
KEM S-AERD（放射率计）： 在 “研发与参数设定" 阶段，负责测量材料的基础物理属性（发射率），为测温提供输入。
HORIBA IT-545（辐射温度计）： 在 “工艺过程控制" 阶段，作为产线的“眼睛"，实时监测 最关键的过程变量——温度。
A&D GX-L（电子天平）： 在 “原材料准备与质量控制" 阶段，作为精密的“秤"，精确测量 投入物料的质量，确保配方准确。
总结
日本A&D的 GX-L系列“分铜内藏型"电子天平 是半导体等高技术产业中物料称量环节的可靠性基石。其内置校准功能 和高防护等级 的设计，完的美地解决了半导体制造中对测量准确性、操作效率和洁净室兼容性的极的致要求，是保障前端化学品制备质量的关键设备。
更新时间：2025-11-14 
浏览次数：47
您的位置：
在线咨询
返回顶部