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sanko-denshi膜厚計SWT-NEO 的介绍

更新时间:2025-03-19      浏览次数:187
Sanko-Denshi(三光电机)是一家知的名的日本公司,专注于生产各种精密测量仪器,其中包括膜厚计。Sanko-Denshi的膜厚计SWT-NEO是一款用于测量薄膜厚度的高精度仪器,广泛应用于电子、半导体、光学、材料科学等领域。以下是关于Sanko-Denshi膜厚计SWT-NEO的详细介绍:

一、产品概述

  • 品牌:Sanko-Denshi(三光电机)
  • 型号:SWT-NEO
  • 类型:光学膜厚测量仪
  • 用途:用于测量各种薄膜的厚度,包括透明薄膜、金属薄膜、半导体薄膜等。

二、工作原理

  • 光学干涉法:SWT-NEO采用光学干涉原理进行膜厚测量。通过发射一束激光到薄膜表面,反射光和透射光之间会发生干涉现象。通过分析干涉条纹的变化,可以精确计算出薄膜的厚度。
  • 高精度测量:该方法具有高精度和高分辨率,能够测量纳米级厚度的薄膜。

三、功能特点

  • 高精度测量:能够测量纳米级厚度的薄膜,测量精度可达亚纳米级别。
  • 非接触式测量:采用光学测量方法,无需接触样品,避免对样品造成损伤。
  • 多种测量模式:支持多种测量模式,包括单点测量、多点测量和扫描测量。
  • 实时数据分析:仪器内置数据分析软件,能够实时显示测量结果,并提供多种数据处理功能。
  • 多种测量范围:适用于不同厚度范围的薄膜测量,从纳米级到微米级。
  • 用户友好界面:配备大屏幕液晶显示屏,操作界面直观易用。
  • 数据存储与输出:可以存储大量测量数据,并通过USB接口将数据传输到计算机进行进一步分析。
  • 多种语言支持:支持多种语言显示,包括英语、日语、中文等。

四、技术规格

  • 测量范围:纳米级至微米级(具体范围取决于薄膜材料和测量条件)。
  • 测量精度:亚纳米级别。
  • 测量速度:快速测量,适合高通量检测。
  • 光源:激光光源,波长可根据测量需求选择。
  • 测量模式:单点测量、多点测量、扫描测量。
  • 数据存储:可存储大量测量数据。
  • 数据输出:USB接口,支持数据传输到计算机。
  • 电源:交流电源适配器。
  • 尺寸:紧凑型设计,便于实验室和现场使用。
  • 重量:轻便,便于携带。

五、应用领域

  • 半导体行业:用于测量半导体薄膜的厚度,如硅片上的氧化层、金属层等。
  • 电子行业:用于测量电子元件上的薄膜厚度,如电容、电阻等。
  • 光学行业:用于测量光学薄膜的厚度,如反射膜、增透膜等。
  • 材料科学:用于研究新型薄膜材料的厚度和性能。
  • 科研领域:用于实验室研究和开发中的薄膜厚度测量。

六、操作步骤

  1. 准备样品:将待测样品放置在测量平台上,确保样品表面平整。
  2. 开机:连接电源并打开仪器,进行自检和初始化。
  3. 设置参数:根据样品的性质和测量需求,设置测量模式、光源波长等参数。
  4. 开始测量:将激光对准样品表面,按下测量键,仪器自动进行测量。
  5. 读取结果:测量完成后,仪器会显示薄膜的厚度和相关数据。
  6. 数据存储与输出:将测量结果存储到仪器中,或通过USB接口传输到计算机进行进一步分析。

七、优势

  • 高精度:采用光学干涉法,测量精度高,重复性好。
  • 非接触式测量:无需接触样品,避免对样品造成损伤。
  • 多功能:支持多种测量模式和数据处理功能,满足不同用户的需求。
  • 便携性:体积小、重量轻,便于携带和现场使用。
  • 操作简便:界面友好,操作简单,易于上手。
  • 实时数据分析:内置数据分析软件,能够实时显示测量结果并提供多种数据处理功能。

八、附件

  • 标准配件:主机、测量平台、电源适配器、USB数据线、使用说明书等。
  • 可选配件:专用软件、校准片等。

九、维护与保养

  • 清洁:定期清洁光学镜头和测量平台,避免灰尘和污渍影响测量结果。
  • 校准:定期使用标准校准片进行校准,确保仪器测量准确。
  • 存储:存放于干燥、清洁的环境中,避免高温、潮湿和强磁场。
Sanko-Denshi膜厚计SWT-NEO以其高精度、非接触式测量和多功能性,成为薄膜厚度测量的理想工具,广泛应用于半导体、电子、光学和材料科学等领域。


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